二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9275463 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-935是一种功能强大的掩模和晶圆检测设备,旨在识别和防止生产缺陷。该系统提供了一系列高级功能，如双光束非接触成像、高速边缘扫描、低倍率晶圆扫描和自动缺陷分类。该装置采用350毫米晶片级，能够测量直径最大为8英寸的晶片尺寸。AXi机器配备了两束光束-一束用于亮场,另一束用于暗场成像-能够以非常高的分辨率产生图像。可以调整光束,以便从晶片的前部和后部进行检查。此功能允许工具在纳米级识别缺陷。该资产还具有低背景、低千伏成像模型,使其能够检测传统成像技术可能遗漏的细微缺陷。对于缺陷分类，AXi设备采用高速模式识别系统。这种技术即使是最复杂的表面缺陷也能精确地识别和分类。该单元还提供了自动特征识别，这使得快速准确地识别可重复的缺陷变得容易。此外,AXi机器还具有高速边缘扫描工具,可以精确测量x轴和y轴的样本。这使资产能够提供卓越的尺寸精度和位置精度。高度精确的编码器模型使设备能够精确跟踪掩模位置并计算出缺陷的精确大小和形状以及表面的粗糙度。最后,AXi系统拥有直观的用户界面,允许用户自定义设置并优化设备性能。它还提供增强的安全功能,以保护操作员和样品免受危害。所有这些特性使AUGUST AXI-935成为快速可靠地检测晶片和掩模缺陷的理想机器。