二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293634919 待售
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RUDOLPH/AUGUST AXI-S是为半导体制造而设计的高性能掩模和晶圆检测设备。它将高速扫描和定位精度与先进的高分辨率光学器件相结合，为识别和检查掩模和晶片中的缺陷提供了可靠而坚固的系统。该装置能够以超高分辨率准确检测和测量缺陷，提供最高级别的掩模和晶片质量保证。AUGUST AXI-S具有创新的3-D照明机与高速视线相机。其最大速度高达每秒100张图像，最大分辨率高达6 μ m。其成像工具使用三维全向成像技术捕获全场表面数据。然后将这些数据自动分析并关联到缺陷识别信息,包括SEM图像。该资产还提供方便的晶片前端装卸和各种晶片尺寸，从200毫米到8英寸。此外，该型号还具有先进的缺陷检测能力。它配备了广泛的检测算法，包括阴影成像、视觉缺陷检测、表面签名、图像处理和极端模式识别。该设备还具有自主操作能力，可轻松融入现有生产流程和自动化，以提高效率。RUDOLPH AXI-S还提供了许多附加功能,例如自动化的预处理和后处理、精确的缺陷减少以及完整的晶圆制造分析功能。此外,它采用模块化设计,可轻松适应特定的应用需求和客户需求。总体而言,AXI-S是一个可靠且功能强大的掩码和晶片检查系统,提供高级特性和功能,能够以最高效的流程实施实现最高的质量保证和产量。利用其高速、高分辨率的光学和先进的缺陷检测算法，确保半导体制造以最高的效率和准确性进行。
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