二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293637922 待售

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 293637922
晶圆大小: 12"
Wafer inspection system, 12".
RUDOLPH/AUGUST AXI-S是来自AUGUST Technologies的掩模和晶圆检验设备,弥合了手动和自动检验之间的差距。AUGUST AXI-S结合了先进的图像分析算法和直观的软件,使用户能够准确检测掩码缺陷,处理半导体掩码局部区域的缺陷。系统使用Edge Map Profiling(EMP)检测特征边缘,可以检测到小至0.5微米的特征。RUDOLPH AXI-S检查晶片的整个表面,包括无缺陷区域,使其能够检测到传统检验方法原本会遗漏的缺陷。AXI-S由于使用图像分析算法和分析同一区域的多个图像的能力,在掩码检查单元中提供了最高的缺陷灵敏度。这是通过结合立体成像、暗场成像、扫描电子显微镜等几种不同的技术来实现的。由于使用了能够快速检测和分析缺陷的高级算法,它还提供了较高的缺陷分析速度。此外,计算机还使用功能强大的图像数据库工具来存储和轻松访问多次检查中的缺陷数据。RUDOLPH/AUGUST AXI-S完全自动化,能够在检查过程中自动聚焦成像资产并调整灵敏度水平。它还可以创建详细的检查报告,使用户可以访问有关检查的所有必要信息。此外,它还具有样本区域选择功能,允许用户仅选择晶圆的特定区域进行检查。这有助于缩短检查时间,因为不必要的区域会被跳过。AUGUST AXI-S能够检查各种尺寸和形状的口罩和基板,从小到大的复杂碎片。高精度和高精度使其成为检测复杂电路和其他专业生产环境的绝佳选择。此外,它的用户友好界面甚至允许没有经验的用户快速学习如何操作模型。RUDOLPH AXI-S具有支持多种语言和生成详细报告的额外优势,是自动执行检查过程的理想选择。
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