二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293706154 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是由AUGUST Technologies设计的掩模和晶圆检测设备。该系统能够以最高精度检测、记录和表征各种掩模模式和晶片中的缺陷。该单元由两个主要组成部分组成，一个成像子系统和一个分析子系统。成像子系统使用先进的CMOS扩展清晰度相机来捕捉具有大景深的高分辨率图像。这样就可以对非常小的特性进行出色的检查，并进行可靠的重复检查。然后可以使用内置算法分析获取的数据，以识别潜在的缺陷或不规则性。该机还可以配合RUDOLPH模式识别软件，为识别缺陷提供进一步的准确性。分析子系统采用多输入通道和多层分析策略。这允许检测曲面和次曲面缺陷。此外,AUGUST AXI-S可用于确定缺陷的模式、边缘和方向。最后，该工具允许对缺陷进行量化，可以揭示缺陷的各种特征，比如它们的大小、形状和深度。资产的结果存储在一个中央数据库中，使用户能够跟踪其检查的进展情况并访问检查产生的统计数据。这有助于为检查过程带来模式识别和一致性。此外,基于用户首选项的高级审阅功能和自动审阅建议可提高效率和准确性。RUDOLPH AXI-S是用于掩模和晶圆检验的先进工具。它具有高分辨率的成像功能和强大的分析软件,能够进行准确和高度可靠的检查,并具有可重复的结果。对缺陷进行量化和审查数据的能力允许对所检查的掩模和晶片进行更有效和准确的审查。