二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9220042 待售

ID: 9220042
优质的: 2006
Advanced wafer inspection system Automatic data collection and reporting With wafer handler Inspection camera: 1.8MB Monochrome CCD Review camera: 3CCD Color Defect sensitivity: 0.5 Microns (User adjustable) 2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一种高度先进的掩模和晶圆检测设备和工程工具。它专为半导体工业的面罩和晶片的全自动检查而设计。该系统能够以高精度和可重复性检查多级口罩和晶片,从而能够快速高效地检查各种技术特性。该单位利用先进的成像技术,如数码相机和激光扫描仪,进行检查。相机捕获蒙版和晶片图样的图像,并将图像发送到软件进行分析。然后,软件将执行各种测试,例如模式识别、缺陷打印和图纸迭加,以生成被检查项目的准确图片。除了成像技术外,机器还采用了强大的算法和信号处理技术来精确检测缺陷。它能够检查多个级别的掩模和晶片,包括平面(平面)和3D(空间)掩模和晶片。它可以检测到亚螺距和线宽的变化,这可能导致电气短裤,并检查侵蚀,曝光,和模式对准。它先进的成像技术和复杂的算法使工具能够快速准确地检测潜在的缺陷。资产附带了一个全面的数据管理模型,允许用户跟踪其检查结果。通过数据管理设备,用户可以存储和检索过去的测试结果,可以用来比较各批产品。此功能使用户能够快速检测产品中的任何变化并检测任何潜在的质量偏差。总体而言,AUGUST AXI-S是一种创新且功能强大的掩模和晶圆检测系统及工程工具,专为广泛的半导体应用而设计。其先进的成像技术和强大的算法,加上其全面的数据管理单元,使得机器非常适合在短时间内检测到尽可能小的缺陷。
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