二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9245775 待售

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9245775
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Wafer inspection system, 12" 2005 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一种先进的掩模和晶圆检测设备,旨在为每个工艺步骤的产量分析提供精确的测量。它可以识别隐藏的缺陷,允许用户在发生灾难性事件之前发现潜在的质量风险。AUGUST AXI-S系统主要有三个部分:一个考站、一个成像单元和分析软件。考场设有六RUDOLPH AXI-S运动定位机、内置光学、电动机、精密级。成像工具可以检测样品表面的地形变化和缺陷。它由3.5兆像素CCD相机、LED照明控制和放大光学元件组成。AXI-S可以测量样品表面上的各种参数,如厚度、电阻率、蚀刻速率、形状和轮廓。要测量的数据是通过扫描曲面收集的。分析软件随后将这些数据处理成对质量和产量评估有用的信息。该资产被设计为易于使用和测量小型结构的高度精确。它既可以识别表面缺陷,也可以识别地下缺陷,并具有多功能能力,可以在玻璃、硅、聚合物和金属等材料上进行测量。对于控制质量,RUDOLPH/AUGT AXI-S具有软件控制光学、快门控制、光源选择、可变视角、自动对焦模式等几个功能。此外,该模型还包括XY-Z级、自动校正设备和参数测试模块等附件。这些用于提高准确性和促进高效操作。凭借高精度和灵活性,AUGUST AXI-S可以通过提高产量为用户节省时间和金钱。此外,系统数据可用于进一步的产量分析,使其成为提高产量的理想工具。
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