二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9248722 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一种掩模和晶圆检测设备，设计用于提供高效可靠的结果。它是一个功能齐全的工具，将高分辨率成像技术与先进的模式识别和缺陷分析工具相结合，提供详细准确的检查。该系统采用扫描电子显微镜（SEM），能够将晶片表面放大到3000倍，能够支持多种图像分辨率。掩模和晶圆检测单元配备了两个光学系统，一个用于低分辨率成像，一个用于高分辨率成像。低分辨率成像机的图像尺寸可达600 μ m × 600 μ m，可将晶片表面放大至3000倍。高分辨率成像工具的图像尺寸可达50 nm × 50 nm,可将晶片的表面放大至2048倍。掩模和晶圆检测资产采用了一种模式识别算法，该算法旨在检测微观缺陷并测量其大小和形状。该算法能够对1000纳米以下的晶圆表面进行检测，并能够检测50纳米以下的特征大小。该模型还能够分析缺陷并将其与有意的特征或结构区分开来。掩模和晶片检测设备有两种先进的缺陷分析工具。第一种是缺陷分类算法，它允许根据大小、形状和类型自动分类缺陷。二是可以测量特征和缺陷大小和形状的缺陷测量算法。这两种算法都非常精确,并提供高吞吐量以获得高效的结果。AUGUST AXI-S是用于掩模和晶圆检查的强大工具。它可以提供高达3000倍的晶圆表面的详细图像，并且可以检测到高达50纳米的特征大小。它具有先进的模式识别和缺陷分析算法，能够准确检测微观缺陷并根据其形状进行分类。它还具有两种高通量缺陷分析工具，可以快速分析缺陷并提供可靠的结果。