二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270886 待售

AUGUST-RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一种专门的掩模和晶片检查设备，设计用于检查二维（2D）电子扫描掩模和三维（3D）晶片中的缺陷。它结合独特的光学成像和基于计算机的分析，检测晶圆和掩模表面印刷或蚀刻图样中的亚微米尺寸缺陷。AUGUST AXI-S系统包括一个定制设计的光学显微镜、一个图像切割设备、一个串行端口、一个扫描仪、一个显示监视器和一个计算机处理器以及一个用于图像捕获、切割和分析的相关软件。在一次检查中，用广域显微镜在一个小区域上扫描一个照明样品表面。光学显微镜使用可见光和紫外线（UV）光源的组合，以多角度和放大倍数捕捉图样的数字图像。通过软件将图像切成薄片,并对其进行检查以定位任何缺陷。然后利用专门的算法对图像进行分析，对缺陷进行定位和分类。除了检查掩模和晶片，RUDOLPH AXI-S单元还具有实时捕捉图像和图样的能力。这是通过使用实时成像机完成的，该机由摄像头、编码器和帧抓取器组成。利用此功能,可以同时从不同来源获取图像,从而实现模式和缺陷的同时比较。此外，该工具还提供了自动图像捕获、模式识别、缺陷确认、实时统计分析等高级功能。最后,AXI-S资产旨在实现最高的准确性和效率,并满足最苛刻的质量要求。它对机械冲击、振动和磁场具有很高的抵抗力，具有适应各种采样环境的能力。RUDOLPH/AUGUST AXI-S模型利用其先进的技术可以检测晶片和掩模中的亚微米尺寸缺陷。而且凭借其用户友好的界面，它易于使用和操作。