二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270934 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一款功能齐全的掩模和晶圆检测设备，旨在满足半导体行业的需求。这一先进的系统采用了独特的、结合了自动光学成像、X射线荧光光谱、统计过程监测和自动缺陷分析，以提供对关键IC结构的高分辨率检查和评估。该单元的自动光学成像组件结合了亮场、斜向和轴向成像技术,以高分辨率和准确性分析IC特征。这样可以确保即使是微弱的图像或特征图样也可供立即检查和分析。此外，该机器的X射线荧光光谱能力提供详细的信息，元素组成的设备的特点。这对于评估双大马士革金属线、挖沟、蚀刻、金属合金成分以及可能影响装置性能的任何其他结构特征的存在是有益的。除了光学成像和X射线荧光光谱，AUGUST AXI-S还提供了强大的统计过程监控。这使它能够捕获、存储和分析60多个质量保证数据参数。这有助于确定、跟踪和分析设备参数的趋势。有了这种功能,就可以在对产品质量或可靠性产生重大影响之前快速发现和解决潜在问题。最后,该工具的自动化缺陷分析功能可缩短测试周期并提高吞吐量。资产检测图像、图样和结构特征的细微变化,这些变化表明存在潜在缺陷。然后,模型使用其深入分析来识别设备中的常见故障点,并立即提出纠正措施建议。RUDOLPH AXI-S是一种功能强大、用途广泛、精确的掩模和晶圆检测设备,可有效检测IC结构的细微变化。光学成像、X射线荧光光谱、统计过程监测和自动缺陷分析相结合，确保设备质量优越、可靠性高。利用这一系统，半导体制造商可以确保一致可靠的IC产品。