二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9308155 待售

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9308155
晶圆大小: 12"
Wafer inspection systems, 12".
RUDOLPH/AUGUST AXI-S是检查口罩和晶片的综合解决方桉。它提供了广泛的服务,包括数字图像处理和高精度计量。AUGUST AXI-S是一个完整的设备,能够进行高速检查和数据分析,可靠的过程中控制。RUDOLPH AXI-S由专门的光学元件、高级软件和定制的机器人处理系统组成。利用光敏传感器检测掩模和晶片中的缺陷。传感器安装在精密的x-y级上,可以通过机器人基座移动到舞台上任何所需的位置。对这些传感器进行校准,以测量缺陷的确切位置,从而可以精确测量每个缺陷的尺寸。AXI-S还测量晶片的形状和方向。利用背光照明模式和先进的边缘检测算法,精确测量晶片形状和位置的尺寸。该单元还对成像数据进行完整的数据分析,提供缺陷特性和设备参数的详细分析。机器还包括一个晶圆跟踪工具,它跟踪每一个晶圆,因为它通过资产移动。该模型提供了从设备前端到后端追踪晶片的能力,以便于管理和质量控制。用户友好的RUDOLPH/AUGT AXI-S软件用于控制系统和配置参数。用户可以使用可自定义的设置和强大的图像处理工具轻松为每个晶圆创建自定义报告。该软件还提供了高效、自动的缺陷检测和方便的缺陷检测。它还包括一个自动缺陷分类工具,可以准确测量和诊断每个缺陷。缺陷分类单元基于使用各种参数(如大小、形状、位置和颜色)的特征级分析。这样可以实现更高的精度和更容易的缺陷分析。AUGUST AXI-S是一种可靠的掩模和晶圆检测机,设计用于进行速度和精度的在线检测。此检查工具是可自定义的,可提供可靠的过程中控制和完整的数据分析。其自动缺陷分类资产将准确性和缺陷检查提升到下一个级别,从而为用户提供在过程中和过程后的完整控制和分析。
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