二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9350862 待售
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RUDOLPH/AUGUST AXI-S掩模和晶片检查设备是一种先进的自动化检查系统，设计用于光掩模、30 x 30毫米晶片挑战和其他小部件的自动化过程控制。该单元由几个组件组成：外壳、光学系统、控制器和图像处理单元。AUGUST AXI-S掩模和晶圆检测机的外壳设计方便操作。它有一个大的，符合人体工程学设计的工作面，两个控制器显示器和四个集成的手套箱，以便于处理被检查的零件。RUDOLPH AXI-S Mask和Wafer Inspection Asset的光学工具由两个强大的楔场平面显微镜组成，它允许光学显微镜和暗场照明用于光学光滑表面的成像，或者两个透射光平面显微镜，这两个显微镜既允许外光照明器，也允许相位对比度操作用于光学光滑表面的成像。根据应用，这些光学器件可以连接到两台闭路电视摄像机，两台来自尼康的CCD摄像机，一台来自卡尔·蔡司的USB 2.0摄像机或一台来自奥林巴斯的数码摄像机。此外,AXI-S掩模和晶圆检测模型还配备了先进的图像分析和测量软件以及集成缺陷分类设备,可快速检测和分类检测表面的缺陷。该系统提供了存储和召回检查参数、将结果和图像导出到外部系统以及存储和分析所有图像的可能性。为保证高效运行，该单元配备了控制器，允许操作员以手动和自动两种模式控制显微镜。控制器具有函数生成器和校准向导,以确保为应用程序优化参数。最后对RUDOLPH/AUGUST AXI-S掩模和晶片检测机进行了优化，用于光掩模、30x30 mm晶片等小部件的检测。它可以轻松集成到现有生产线和过程控制系统中,具有直观的用户界面和广泛的分析功能。该工具设计方便操作,并以最高分辨率提供可靠的结果。
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