二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9401136 待售

RUDOLPH/AUGUST AXI-S是一种综合性的掩模和晶圆检测设备，设计用于满足微电子行业过程控制的严格要求。该系统提供具有属性测量功能和高级过程控制功能的完全自动化。该单元由两个主要部分组成：4AUGUST AXI-S、精密XY级和嵌入式视觉机。4RUDOLPH的AXI-S、精密XY级利用直线电动机实现高速运动，能够在X、Y、Z方向精确移动物体，分辨率为0.1 μ m。这个阶段还有一个内置的机器人手臂，最大速度为1mm/s，力容为1,500N。嵌入式视觉工具采用了最新的智能图像识别技术，允许同时进行多闪存图像处理。它提供了广阔的视野，甚至可以检测到最具挑战性的缺陷和模式。该资产为所有类型的掩模和晶片（包括薄、厚和超薄相）提供准确可靠的测量数据。对实测数据进行进一步处理，以进行统计趋势分析和工艺优化。该模型还提供全面的软件,旨在为实时图像显示和多步操作提供用户友好的GUI。它支持实时图像捕获、图像处理以及图像分析和分析。该软件可通过各种复杂的操作实现过程控制。设备还提供了与现有系统集成的灵活性。此外还配备了NIST同步、OCR模式识别、双通道报警和PLC控制等先进功能。所有这些功能允许用户监视和自定义系统性能。AXI-S是一个经济高效且用途广泛的掩模和晶圆检验单元，旨在满足最高的生产要求。它以各种复杂的操作提供可靠、准确的测量数据和过程控制。该机是高容量微电子生产的完美解决方桉。