二手 RUDOLPH / AUGUST AXI-S930B #293663056 待售

RUDOLPH / AUGUST AXI-S930B
ID: 293663056
Wafer inspection system.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S930B掩模和晶片检验设备提供了改进质量控制的先进功能,适用于各种应用。AUGUST AXI-S930B是一个3D自动化测量系统,旨在为晶圆和掩模提供视觉控制和精确的数值分析。该单元能够在各种工艺条件下自动检测各种缺陷类型。RUDOLPH AXI-S930B优越的速度和精度使得能够对各种类型的晶片和具有亚微米特征的面罩如全息图、彩色滤光片和面罩进行快速目视检查。此外,机器还提供晶圆和掩码上缺陷和几何形状的精确尺寸测量。AXI-S930B具有先进的光学功能,包括采用数字图像强度(DIIM)技术的CCD相机。这样可以提高检查速度、优越的信噪比、更好的图像分辨率和更可靠的测量。它还使用高功率照明源,为目视检查和计量提供最佳对比度和分辨率。该单元配备了专用的图像处理硬件,允许为不同的应用设置广泛的参数。这包括与降噪和减少误报有关的设置。它还包括一个"禁止触摸"的校准程序,以防止意外调整对机械造成损坏。RUDOLPH/AUGT AXI-S930B在Windows或Macintosh操作系统上运行,图形用户界面允许针对特定任务自定义操作。此外,易于使用的软件包提供统计数据输出,以实现完整的可追踪性和报告。除了自动化功能外,AUGUST AXI-S930B还具有用于快速缺陷检查的手动操作功能。此功能在定义和确认操作过程中发现的缺陷的性质和特定特征时特别有用。RUDOLPH AXI-S930B掩模和晶圆检测工具在各种工业和学术应用中提供卓越的性能。其优越的光学、高处理速度、详细的分析功能以及直观的用户界面,使其成为寻找高级可靠检验和计量解决方桉的客户的理想选择。
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