二手 RUDOLPH / AUGUST CV 9812 #9223286 待售
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ID: 9223286
晶圆大小: 12"
Wafer career inspection, 12"
High resolution CCD Camera
Probe
LCD, 15”
PC:
Processor: 300 MHz
Hard Disk Drive (HDD): 4.3 GB
Floppy Disk Drive (FDD): 3.5”
Dram: 24 x CD 32 MB
Operating system: Windows NT4.0
Power unit:
Cable
Handy barcode reader
Performance:
Measurement accuracy:
Direct measurement: ±0.0254 mm
Rear wafer position measurement: ±0.0762 mm
Repeatability: ±0.013 mm (Use STD Calibration tool, 6σ)
Operating environment: 20°C - 22°C (Volatility 0.5°C/hour ≦)
Facility:
Manual
CDA: 90 - 100 PSI 5/16” OD
Power supply: 200-240 V, 50/60 Hz, 1φ.
RUDOLPH/AUGUST CV 9812掩模和晶片检查设备是一种高性能、可靠的工具,旨在快速、准确地对光刻块进行高效的目视检查和分类。该系统提供多种检查功能,特别注重检测组件上的异物颗粒、颠簸、划痕和其他类型的缺陷。该单元的应用适用于平板显示器、半导体集成电路(IC)、OLED、有机LED(OLED)、LED、太阳能电池等薄基板的检测。该机配有精确的无玻璃、光学完美的检测窗口,用于测量遮罩层的精确间距。这使得该工具能够以极高的精度检测光刻块中的微小变化,从而能够对缺陷图样进行分析和补救。该资产还支持自动缺陷检测的高级算法以及手动检查。为了检测组件上的粒子等缺陷,模型采用了先进的光学技术,其中包括激光干涉测量和图像处理。激光干涉仪用于精确测量遮罩层上每个细节图样之间的距离。然后,图像处理器分析图像以识别缺陷,例如存在异物粒子。图像还可用于根据大小、形状、位置和其他参数对缺陷进行分类。设备还可以检测和分类多级缺陷。这意味着技术人员可以更详细地了解问题,帮助他们确定缺陷的原因或对其进行相应分类。这样可以节省时间和资源,提高效率并防止进一步的产品损坏。AUGUST CV 9812 Mask&Wafer检验系统也与测试系统集成,允许操作员在评估和修复缺陷的同时检查生产状态。此外,该单元的设计旨在提供先进的分析能力,以进一步提高缺陷检测的准确性。它确保以与其他利益相关者(如硬件工程师和供应商)共享的方式收集和存储可操作的数据。RUDOLPH CV 9812面膜晶片检测机是光刻块快速、精确、准确检测分级的先进工具。其通用的光学技术、自动化的检查功能和集成的分析使其能够及时高效地检测和修复缺陷,从而帮助节省成本并提高产品质量。
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