二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 100A1 #9239070 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 100A1是一种掩模和晶片检查设备，设计用于检测用于生产极小微电子元件的光掩模和薄晶片的缺陷。这类设备对于使用标准显微镜进行质量控制和检测可能遗漏的缺陷至关重要。AUGUST NSX 100A1使用获得专利的动态观察结构（DOF）来精确检测平坦和不规则表面（如薄晶圆层）上的小缺陷。该系统利用具有高分辨率和可变变焦的集成成像单元在微观层面识别缺陷。利用随机弹跳成像（SRI）算法,利用高频扫描捕获复杂曲面的图像,以便分离晶圆特征并快速识别缺陷。RUDOLPH NSX 100A1设计用于处理尺寸不超过200 mm的标准光掩模和尺寸不超过300 mm的薄晶圆,均采用相同的分辨率。机器具有自动校准功能，允许操作员快速拨入并保持正确的焦点。NSX 100A1的用户界面是一种直观的图形触摸屏显示,可以使用手写笔或触摸板操作。界面便于快速设置和调整检测参数。它还允许操作员查看2D和3D图像中的掩码或晶片，这对于需要高精度的应用非常完美，例如在生产集成电路时。RUDOLPH/AUGUST NSX 100A1还具有高级功能,可帮助进行缺陷分类、自动缺陷检查和缺陷分析。它可以检测到小至2.5微米的颗粒，这对于微观特征生产中的质量控制是必不可少的。缺陷分析功能采用成像过程中获取的批量图像，使工具能够快速准确地检测和分类缺陷。AUGUST NSX 100A1是快速掩模和晶圆检测的理想资产。其先进的特点和直观的用户界面使其易于设置和使用，并且能够以极高的分辨率捕获和分析缺陷，使其成为微电子生产过程中质量控制的理想选择。