二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #293652689 待售
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ID: 293652689
2D Automatic Optical Inspection (AOI) system, parts machine
Missing parts:
Odyssey board
Robot assy
Stage ball screw
Pre-aligner
Camera
Turret
CCD
PC
Power supply.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105是一种掩模和晶片检验设备，设计用于确保光掩模和晶片生产的最高质量水平。AUGUST NSX-105包含高分辨率数字扫描仪和高级软件算法，以准确检测和检测基板上的任何物理异常，如粒子、点蚀、地形或应力场。该系统使用平场和弯场照明的组合，以及深光干涉测量，来识别可能在该过程后期引起问题的微妙特征。它能够识别尺寸小至2微米的粒子，并利用先进的软件算法对图像进行缺陷分析。该单元可以检测基板上的颗粒、划痕、针孔、晶体缺陷、点蚀和宏观不规则性。它还能够测量基板的厚度，准确检测材料的光学特性，识别其组成的细微差别。RUDOLPH NSX 105还附带了广泛的附加功能，如多传感器架构、先进的缺陷识别算法、自动自我监控和校准，以及产生晶圆3D图像的能力。此外，机器是高度可定制的，用户能够调整扫描参数，以最好地满足他们的应用和需求。AUGUST NSX 105是一种功能极为强大的掩模和晶圆检测工具，旨在为光掩模和晶圆提供可靠的质量保证。其先进的特点，加上其高分辨率和精确度，允许极其精确和可靠的缺陷检测，允许从生产过程中获得尽可能高的产量。
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