二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9191496 待售
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ID: 9191496
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Inspection system, 8"
(2) Load ports, 6"-8"
BROOKS AUTOMATION Robot and aligner
Wafer stage, 12"
(5) Optic lens with SONY CCD 3D camera
2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105是高速掩模和晶圆检查设备。该系统用于检测半导体晶圆和光掩模基板中存在的颗粒、划痕和其他缺陷。它是一个先进的机器视觉单元，提供全自动检测和分析微粒低至10微米以及划痕。机器使用全场偏振频闪光成像操作，然后与粒子计数算法一起使用，检测粒子和其他污染物的存在。该工具可以在非常大的区域检测到半透明的颗粒和不均匀的污染区域，使其成为一次检查大面积晶片的理想资产。它有一个集成的专有跟踪模型，使检查人员能够跟踪检查的进度。RudyAUGT NSX-105包括高分辨率彩色相机和最先进的光学元件。摄像机可以采用线扫描和区域扫描两种格式进行配置,使操作员能够将设备调整为特定应用程序的最佳图像质量。该系统还包括可配置用于目视检查、统计分析和其他目的的自定义图像处理软件。该单元与多个附件配合使用，包括样品支架、液体分散器和张紧器单元。样品持有者便于将样品呈现给相机，并允许确定精确的焦点。液体分散器单元用于向样品喷洒干或液湿化学物质，而张紧器单元则可用于对样品表面精确施加张力，以便检测划痕。检查结果存储在硬盘上。可以对结果进行分析、打印和存储,以供将来参考。RudyRUDOLPH NSX 105是一种可靠、高质量的机器，在半导体工业中被许多制造商信赖来检测缺陷。凭借其先进的掩蔽和晶圆检测能力，这一工具提供了一个强大的工具，快速和准确地识别潜在的问题与半导体基板。
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