二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9298761 待售
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RUDOLPH/AUGUST NSX 105掩模和晶片检查设备是一种成像检查系统,用于检查晶片表面是否有不规则和缺陷。该检测单元可用于检测污染、变薄、针孔、位错、缺陷等表面异常。机器利用白光源、光学相机和成像模式识别算法来捕捉图像并进行检查。AUGUST NSX-105由由白色LED光源和杯状暗场镜组成的暗场照明工具组成。该资产还配备了光学相机和激光,利用干涉聚焦扫描(IFS)测量高度和表面不规则。模型还有一个模式识别算法,用于检测晶圆表面的任何不规则性。使用光学相机以两个角度拍摄检查图像并存储在设备的硬盘上。系统还记录了拍摄图像的条件,如使用的掩码类型、使用的光的类型以及模式识别算法的参数。然后用单元的模式识别算法对记录的图像进行分析。此算法使用基于模板的技术来检测晶圆表面上的任何不规则或缺陷。算法还使用三维技术来测量任何不规则的高度。RUDOLPH NSX 105能够通过一次运行自动分析多达1000个晶圆。机器可以根据用户的特定需求进行定制,并可用于多种缺陷,如污染、位错、针孔、变薄等表面异常。NSX 105掩模和晶片检查工具是用于检测、识别和测量表面不规则和不完美的高级工具。该资产操作方便,是晶圆表面检验和质量保证的理想选择。
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