二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293637221 待售

RUDOLPH / AUGUST NSX 115
ID: 293637221
Automatic Optical Inspection (AOI) system (2) Loadports MF Chamber.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115是一种掩模和晶圆检查设备,可以提供极其准确和可重复的结果。该系统采用先进的光学设计,使其能够快速成像和比较晶圆表面。AUGUST NSX 115配备了5倍光学成像变焦和大视野,使其能够以更高的分辨率成像极小的蒙版和晶片。这种高放大倍率使得它能够识别掩模和晶片表面的缺陷,使其成为微观制造应用的理想选择。RUDOLPH NSX 115所使用的成像算法极能检测面罩或晶片上的表面运动和缺陷。该单元能够快速识别粒径和形态,然后以极高的精度测量掩模和晶片的相对高度。例如,它可以测量层厚度,精度为1nm,图像分辨率优于0.1µm。它还具有嵌入式用户界面,允许灵活设置不同类型的检查。其直观的菜单结构使机器易于设置和操作,提供了快速有效的检查结果。NSX 115通过平坦度测量和3D地形测量提供了先进的缺陷检测。该工具可以作为一个独立的解决方桉,也可以作为一个更大的自动化平台的一部分,允许它去补丁,尖刺,孔,以及其他常见的蒙版和晶片上的缺陷。资产的高级信号处理和模式识别功能为用户提供了高度准确的分析结果,可用于检测掩码和晶圆表面的缺陷。利用其强大的本机软件,用户可以控制检查进度,报告结果,并实现检查过程的自动化。此外,RUDOLPH/AUGUST NSX 115受到良好的保护,免受电信号、强光源和恶劣的环境条件,如灰尘或湿度的影响。这使得它成为实验室或商业生产环境中严格检查任务的合适选择。总体而言,AUGUST NSX 115是一种最先进的掩码和晶圆检查模型,可为用户提供极其准确的结果和高度可重复的结果。它是功能强大的本机软件,易于使用和配置,并允许用户快速精确地检测和分析缺陷大小和形态。
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