二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9391359 待售
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RUDOLPH/AUGUST NSX 115掩模和晶片检验设备是一种最先进的检验和计量工具,用于检查和测量半导体器件和晶片上的缺陷和缺陷。该系统能够捕获和检测亚微米级的缺陷。AUGUST NSX 115是对AUGUST系列掩模和晶圆检测系统的最新补充。RUDOLPH NSX 115是从单位角度设计的,考虑到从掩模到成品晶圆的整个晶圆检测过程。它包含了先进的检测传感器,包括一套四个可变磁场光学、暗场光学、屏蔽荧光和多视镜光学显微镜。该机器还包括一个高级模式分析仪,能够检测和报告缺陷类型、大小和位置。完全集成的环境控制工具可确保在不同环境条件下的性能一致。NSX 115的自动掩码检查子系统旨在识别和报告在选择、阵列和装配阶段的晶圆缺陷。资产先进的图像采集和缺陷识别技术具有先进的模式识别和参数提取能力。此外,RUDOLPH/AUGUST NSX 115的高级晶圆计量功能使测量能够以亚微米分辨率进行,从而能够全面分析掩模特征和缺陷。该型号与所有领先的半导体器件制造工艺兼容,包括易于使用的图形用户界面,使得该设备非常适合进行掩模和晶圆检测。此外,AUGUST NSX 115能够将缺陷数据导出到多个软件包中,以便最终验证和生成报告。RUDOLPH NSX 115掩模晶片检测系统为准确检测半导体器件和晶片提供了一种有效、可靠的方法。
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