二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9394174 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 115掩模及晶片检验设备是一种高精度、高通量的系统，旨在提供对连续掩模和双模式标线应用的检验。该单元配备了5MP Square CCD摄像头，能够8um low-k1和10um high-k1的检测分辨率。照相机安装在Z轴上,允许完整的蒙版景深（MDoF）捕获3 D蒙版几何,同时机器还能够提供高分辨率的2D Tip-View蒙版检查。此外,多投影仪3D Overlay允许手动进行Confidassure Tool评分和算法检测。资产硬件由SofTec机器视觉平台控制,能够以卓越的速度和灵活性轻松定制和处理数据。这使用户可以轻松地在检查操作之间切换，从而方便地支持多层的多格式工具，如放大、减法、双差分、迭加和复杂迭加。此外,软件包还可用于特殊应用程序,如2D图像分析、标线边缘检查、线边缘粗糙度、MEF、焦点测量、测量完整性和重复缺陷分析。AUGUST NSX 115专为全天候性能而设计,具有掩码幻灯片更改、缺陷校正、跨站点报告评估、在线OCR和报告编码等功能。它还设计用于最大限度地减少操作员干预并最大限度地提高产量,具有多种过程控制功能,如掩码负载策略、错综复杂的映射、缺陷管理、在线分析和预清洁。通过将软件功能与功能强大的5MP CCD摄像头相结合,RUDOLPH NSX 115即使遇到高错误缺陷率也能提供最高的保留率,并且能够在低周期时间内进行高精度的检查。总体而言,NSX 115掩模和晶片检查模型提供了业界领先的解决方桉,可用于连续掩模的高精度、低缺陷率检查以及双图案标线操作。通过将功能强大的5MP CCD摄像头、SofTec机器视觉平台和众多支持软件相结合,RUDOLPH/AUGT NSX 115能够提供可靠、高通量和准确的检查。