二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 115D1 #293598225 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 115D1是一种综合性的掩模和晶圆检查设备,旨在为从半导体掩模检查到关键的高分辨率检查和缺陷检测等一系列应用提供快速、高分辨率的检查和可扩展性。该系统具有全自动检查序列、用于掩模发光的自动对齐功能,以及用于高放大倍率的全对比度增强图像显示。AUGUST NSX 115D1配备了从6 X到900X的25个放大倍数设置,5 X到100X可用于快速、低放大倍数的检查,8 X到900X可用于详细的检查和缺陷分析。溷合匹配检查功能和刀具组之间的快速更改是在检查掩模和晶片时提供更大灵活性的附加功能。该单元还拥有四台高性能数码相机，用于捕捉检查和分析面具或晶片的图像数据。RUDOLPH NSX 115 D1旨在提供卓越的缺陷检测功能。它能够检测或指示可能小至0.2微米、大至8微米的缺陷。该机器提供低对比度和高对比度检测,而高端多层检测工具通过显示一系列图像分辨率来降低图像噪声,从而确保尽可能清晰的图像。资产包括两种高级图像处理算法，用于高性能检查所需的超分辨率和处理低对比度、高分辨率图像的能力。其他功能（如放大/缩小、手动聚焦、局部扫描和测量功能）允许进行更好的检查和分析。在面罩或晶片检查方面，NSX 115 D1可以识别空隙、开口、短裤、毛刺等缺陷。利用其"自动对齐"功能,它能够以2 μ m或更小的精度对齐基板中的蒙版图桉。模型还会检查纹理、突出显示粒子、变形、边缘映射以及光学和照相机无法检测到的清晰/扭曲的图样。RUDOLPH/AUGUST NSX 115 D 1是一种可靠、操作简单的掩模和晶圆检测设备,可为各种应用提供最大的精度和控制。NSX 115D具有无与伦比的性能、卓越的特性和先进的设计,是任何半导体制造过程的理想解决方桉。