二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #293827301 待售
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ID: 293827301
Automatic Optical Inspection (AOI) systems
Wafer handling station
Pneumatic pressure: 758.42 kPA, 7.58 bar
Compressed air: 2 SCFM 110 psi
Amperage motor or load: 12 Amps
Capacity (AIC): 5000
Amperage protection device: 50 Amps
Conductors: (2 + GND), 3x1.55 mm² (16 Amp)
Frequency range: 50/60 hz
Amperage: 40 Amps max
Power supply: 200-240 VAC, (single phase + GND).
RUDOLPH/AUGUST NSX 320是一种先进的掩模和晶片检测设备,设计用于识别半导体晶片和掩模中的缺陷。此技术包括成像和分析系统阵列,可快速准确地检查掩模和晶片的表面缺陷、不可接受的尺寸和其他潜在缺陷。AUGUST NSX 320具有单路照明系统、增强的光学器件和高精度x/y级,可在一次对齐中扫描多达六个晶片(三个掩模和三个晶片)。该单元还具有先进的粒子标记、可调深度控制和可变的Z间距。该机的规格包括一个拥有8x8毫米视野的成像工具、1.0 μ m的横向分辨率,以及一个用于掩模和晶圆检查的易于使用的界面。颜色独立资产还具有较高的动态范围和先进的对比度管理.RUDOLPH NSX 320利用先进的照明水平和照明技术,如卤素和冷照明,最大限度地提高吞吐量,提高图像质量。该模型还具有先进的缺陷检测算法,该算法可以识别短缺陷和长缺陷,无论它们位于表面的何处。该设备具有"智能"缺陷识别系统,可以区分特征和模式,使其能够准确识别小缺陷或难以发现缺陷。为确保可靠性和准确性,NSX 320还使用一个特殊的跟踪单元来捕获和记录机器内的每个检查。这些数据可用于校准工具,并随时间跟踪每次检查。总体而言,RUDOLPH/AUGT NSX 320是一种高级掩码和晶片检查资产,旨在快速准确地检查掩码和晶片的表面缺陷、不可接受的尺寸和其他潜在缺陷。其先进的成像模型、可变Z间距和集成缺陷检测算法有助于为用户创造可靠且可重复的结果。
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