二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 320 #9243740 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 320是一种自动化的掩模和晶片检查设备，设计用于提供基于光刻的测试设备的快速、准确和可重复的分析。该系统利用自动缺陷检测和计数（ADDC）软件的先进纳米技术，快速准确地检测和量化生产晶片和掩模中的缺陷。该装置旨在检测和量化掩模和晶片中的微观缺陷。AUGUST NSX 320提供晶圆厚度、临界和覆盖、图像质量、填充因子、间距测量以及地形缺陷的精确测量。创新的自动化机器缩短了时间,提高了测试设备的效率。该工具采用单一摄像机设计,具有双视图照明角度、可变场大小和基于卡尺的聚焦资产,可提供准确的图像捕获和分析。该模型的高级算法能够以可重复的准确性和最小的人工干预来检测和识别站点位置、孤立的缺陷和复杂的缺陷。软件具有工艺条件和缺陷识别支持、检视发现过程、自动缺陷计数、自动直方图和尺寸分布分析以及自动缺陷检测等特点。RUDOLPH NSX 320具有即插即用功能、直观的图形用户界面（GUI）和自动批处理功能,易于操作。设备每批最多支持8个不同尺寸的晶片。此外,用户可以定义和保存配方以捕获和存储流程配方和设置,以便于重复和优化测试。该系统符合SEMI E134标准,可以定制以满足客户的需求。总体而言,NSX 320是一个先进的自动化掩码和晶圆检测单元,旨在对测试设备进行快速、可重复和准确的分析。该机采用创新的单摄像头设计,可用于高级缺陷检测、直观GUI、自动批处理、即插即用功能和高级分析。RUDOLPH/AUGT NSX 320提供可靠、可重复和一致的测量图像数据，以支持设备制造、半导体生产和研发。