二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 330 #9160333 待售
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RUDOLPH/AUGUST NSX 330是一种用于关键缺陷分析和晶圆生产控制的掩模和晶圆检测设备。其专门的光学器件包括大幅面液晶显示器、快速、准确、可重复的传感器、激光干涉测量以及各种放大选项,使得能够对各种基材进行近距离和彻底的检查。AUGUST NSX 330非常精确,可在明亮平坦的表面上产生分辨率降至0.5 μ m的图像。它还允许扫描深而复杂的表面结构和大小视野,因此可以用于对单晶或多晶材料的各种检查需求。该系统还包括电动高度控制,允许显微镜单元的光学器件快速聚焦。此外,还提供各种自动对焦模式,以快速关注感兴趣的区域。RUDOLPH NSX-330旨在促进人工和自动检查。它可以通过与显微镜头配合工作的集成计算机控制的GUI进行控制。这样就可以方便地对检查任务进行编程和控制,并且可以合并不同的光学元件,例如共聚焦机器、LWD或Darkfield工具。RUDOLPH NSX 330可进一步用于分类、缺陷检测、计量、分类、故障分析等过程,使其既适用于研发应用,也适用于制造。NSX 330还提供了高度的灵活性,允许整合了大量的选件和配件,例如数码单反相机、激光衍射系统、LED照明以及能够实现电子束成像或原子力显微镜的配件。最后,NSX-330安全友好的界面保证了操作方便、安全.凭借直观的触摸屏,操作员可以轻松地为应用选择最合适的参数,从而实现快速可靠的自动检查任务。这样可以最大化生产效率和过程优化。
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