二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 330 #9298649 待售

RUDOLPH / AUGUST NSX 330
ID: 9298649
优质的: 2015
Automatic Optical Inspection (AOI) system 2015 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 330是一种掩模和晶片检验设备,旨在通过快速识别掩模和晶片缺陷来提高工艺产量和质量。其先进的光学系统采用高分辨率成像,以10纳米或更高的精度识别半导体缺陷。这确保了该工艺产生最高速度和效率的高质量产品。AUGUST单元由以下组件组成:LED照明器、数码相机、显微镜级、晶片支持机构、图像捕获软件包、滤波器轮、电动X&Y级、工业PC以及控制和操作软件。这些组件结合起来,创建了一个自动图像检查机,可以识别、分类和测量掩模和晶圆表面上的小缺陷。该工具采用了被称为"电子束处理(EBP)"的专利技术。此技术从晶片和掩码收集图像数据,然后将其与参考图像进行比较。所得差分图用于检测和测量分辨率为10纳米或更高的细小缺陷。资产还能够循环多达10个不同的滤波器集,以检查不同类型的缺陷,如颗粒或划痕。AUGUST NSX 330型号还具有强大的图像分析包,可以即时处理捕获的图像,并对检测序列中检测到的缺陷进行全面分析。设备还允许批量作业,允许用户使用单个进程检查无限数量的晶圆和掩码。为了确保可靠的检查过程,RUDOLPH系统在每次检查前后采用严格的质量保证检查和校准程序。这样可以确保设备正常高效地工作。总之,RUDOLPH NSX-330是一种坚固可靠的面膜和晶片检测机,旨在提高工艺组装的质量、产量和速度。该工具精确度高达10纳米,精确度高、经济高效且用户友好。
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