二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 3DI AXI / UltraPort5 #9233701 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5是专门为半导体行业的高分辨率图样应用而设计的掩模和晶圆检测设备。该仪器能够检测到掩模片和晶片上蚀刻图样的缺陷，精度和重复性无与伦比。3DI体系结构利用先进的光学器件在光源和图像平面之间实现高达5°的动态成像角度调整,从而能够精确检查顶角高达80°的图样。对于光刻过程产生的缺陷,该系统在3 μ时的检测率高达5 σ m,甚至可以检测到最微小的缺陷。专有的光真空照明单元也显着减少了由粒子尘埃造成的相机影像波动。AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5具有直观的UI接口,使其易于使用和控制,而其模块化设计使机器能够根据客户的特定需求进行定制。RUDOLPH NSX 3DI AXI/ UltraPort5还采用了一种创新和坚固的晶圆配准工具，具有自动样品定位和定向功能。这种资产确保每次检查都能准确和重现，同时预测晶圆屈曲效应。模型还提供了可选的"影片"模式，它允许检查移动目标，例如动态缺陷群集，而不是静态缺陷模式。此外，该设备还提供电子束检测组件，大大增加了3DI AXI/ UltraPort5的缺陷覆盖率。此功能使制造商能够在短短几秒钟内检查整个掩码和晶片阵列集,从而提高吞吐量并降低成本。3DI的AXI/UltraPort5卓越的处理能力允许同时映射和查看多达四个晶圆,而其大型7.5英寸LED显示屏提供清晰的成像接口,以便于识别缺陷。NSX 3DI AXI/ UltraPort5是前沿技术和直观设计的理想组合,用于掩模和晶圆检测。它能够以前所未有的精确度检测微小缺陷,而它的模块化设计和直观的界面使该系统不仅易于使用和维护,而且极具成本效益。