二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9150909 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 90蒙版和晶片检查设备是一种用于检查蒙版或晶片的高速系统。它能够在一次冲程中在23秒内检查多达90个晶片,从而提供高产量和吞吐量。该单元最多提供三个运动轴：Y轴和X轴,以及一个旋转倾斜（ST）扫描仪。Y轴用于将样品带到合适的检验位置。X轴用于相对于零件的被动对准。旋转倾斜扫描仪用于检查方向，以确保均匀的照明条件。检测机是一种全数字化的机器，包含先进的光学元件。其光学检测分辨率为20nm,三维可重复性为± 2 μ m。该相机专为高通量和高精度成像而设计。高性能照明提供不同角度的同轴和非同轴照明，以捕捉最佳的图像细节。检查工具配备了最先进的图像处理资产。它提供了缺陷图像的高速分析，具有自动缺陷分类和快速缺陷检查。它可以检测和识别微小的气泡和裂纹、缺失或错误的零件、扭曲或错位的零件以及各种大小的异物等缺陷。该模型还提供了全面的晶圆检测数据分析，包括缺陷统计。此外,AUGUST NSX 90 Mask&Wafer Inspection Equipment还配备了额外的功能,如连续检查、样品尺寸调整和批量尺寸调整,从而提高了生产率和质量控制。其他特性如自适应扫描、多焦点检查、作业加载等也为检查系统增加了操作灵活性。