二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9272584 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 90蒙版和晶片检测设备是半导体制造中用于检测蒙版和晶片的集成在线解决方桉。AUGUST NSX 90的设计提供了最高水平的精确度和准确性，提高了掩模和晶圆产品的整体质量和可靠性。该系统由四个主要组成部分组成。面罩级使用2轴电动X-Y级,能够检查速度高达10um/s。晶圆级完全自动化，具有2轴电动X-Y级，包括4束接触对准单元。集成光学盒包含两个镜头模块，一个用于晶圆检查，一个用于掩模检查。镜头提供从8X到100X的可变放大倍率,像素分辨率降至0.0008 um。集成的QX30成像探测器能够以每秒1000帧的速度捕捉图像。数据采集和分析模块为图像分析提供了强大的平台。它具有具有实时控制、分析和报告功能的图形用户界面。模块还包括一系列专门设计的算法，这些算法使用内置阵列比较、形态和区域分析方法检测各种缺陷。RUDOLPH NSX-90面膜和晶片检测机的设计符合行业最高标准。凭借强大的硬件和强大的软件，它能够可靠地检测到所有类型的掩码和晶片缺陷。其高速的性能和高精度的精确度使得它非常适合检查各种各样的面膜和晶片。