二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #293755120 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 95面膜和晶片检测设备是一种先进的全自动晶片检测系统。它结合了高分辨率扫描电子显微镜（SEM）和机器人晶片级，用于快速、精确的晶片检查。AUGUST NSX-95设计用于快速、准确地检查晶圆的最紧布局公差到45纳米工艺技术。它能够检测超深亚微米级半导体生产中的缺陷。RUDOLPH NSX 95具有高速、高分辨率、彩色SEM,最大分辨率为0.2nm,图像尺寸可达1000 x 1000 µm。这提供了精确的缺陷测量和识别所需的最高放大倍率和视野。一个机器人晶片级和集成的模具面积分析选项提供了生产和参考晶片的高速、无损缺陷评价。面罩和晶片检查装置还具有高分辨率LED照明机器，可以在相同的照明条件下并排查看样品。此功能对于包括模式识别在内的颜色编码技术至关重要。AUGUST NSX 95配备了强大的自动样品定位工具，允许精确快速的样品定位，从而减少了样品加载时间。RUDOLPH NSX 95包含几个高级功能，为用户提供最高精度的缺陷识别。这些特性包括缺陷识别算法（DRA），它允许快速可靠的缺陷识别。DRA可以检测内联生产和参考缺陷。它还具有用于快速粒子分析的自动粒子分析（AiPA）选项,以及允许资产根据用户输入选择正确晶圆的自动样本分配（ASA）。最后,NSX 95提供了向后端进程模型的直接缺陷传输和可靠的数据存储,以及通过安全的Internet连接进行的远程诊断/故障排除。这样可以轻松设置和高速数据传输,从而缩短周转时间。总体而言，RUDOLPH NSX-95是一种功能强大且可靠的掩模和晶片检测设备，能够快速准确地检测晶片级缺陷。高速扫描电子显微镜和机器人晶片级提供快速、精确的样品定位和图像分析。LED照明系统、缺陷识别算法、粒子分析和自动样品分配功能都使设备高效可靠，同时在生产和工艺开发中提供了最高精度的缺陷识别。