二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9206625 待售

RUDOLPH/AUGUST NSX 95掩模和晶圆检测设备是一种用于半导体制造的高性能、自动化光刻工具。它设计用于对标线和晶片掩模进行精确、快速的检查。AUGUST NSX-95提供了一整套先进的无损缺陷检测、表征和分析功能,允许快速表征和微调,以满足客户的要求和规范。RUDOLPH NSX 95包含几个设置阶段,用于定制特定掩模类型的检查,例如在标线和晶片上的检查。晶圆传输系统用于将掩模移动到位，并将其固定在表面舞台上。接下来，将标线放置在表面级并对齐，这样图像的中心就可以与晶圆的表面精确匹配。一旦标线正确放置,光学对准单元将扫描标线,以确保结果的最高精度。RUDOLPH/AUGT NSX 95机器光学元件的分辨率甚至高于竞争系统,以确保更快速、更准确的检查。这样可以更准确地检查掩模元素与相应晶片表面之间的对齐方式。它还提供了扩展的焦点深度。这种扩大的聚焦深度使检查工具能够识别隐藏在凹槽和沟槽中的特征，而肉眼可能不容易看到这些特征。此外,NSX 95还具有高级缺陷检测功能。资产使用复杂的算法进行编程,以查找包含电气、光学或结构类别的缺陷。它能够检测和区分有机、无机、晶格或结构缺陷。各种设置允许用户区分不同的缺陷类别,并且可以通过自动设置加快处理时间。除了缺陷检测指标外,AUGUST NSX 95还提供全面的性能分析。它评估信噪比、对比度、缺陷图像对比度、缺陷大小等关键参数。再者，模型可以精确模拟超过视场大小十倍的打印区域。此高级模拟功能使工程师能够预测大面积设计的可打印性和性能。NSX 95是检查和分析标线和晶片掩码的宝贵工具。它结合了光学对准和先进的缺陷检测能力，非常适合大批量生产。其延伸的聚焦深度和深入的性能分析肯定会提高生产可靠性。