二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9207041 待售

ID: 9207041
晶圆大小: 8"
Defect inspection system, 8" WHS Manual load type.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95掩模和晶片检验设备是一种高精度、高通量的机器,用于检查和分析用于制造半导体和光电元件的掩模和晶片。该系统采用激光光束传送装置和高分辨率成像,进行详细的表面纹理分析、缺陷测试和其他检查。该机器由两个主要部件组成:视力站,在视力站装载和检查口罩和晶片;和检测站,其中激光控制光束用于测量和验证表面纹理的均匀性。视觉站配有图像传感器和计算机控制的摄像头头,可捕捉晶圆表面的图像。然后,专门的软件处理这些图像,从而可以识别点缺陷并测量复杂的表面特性。检测站设有激光束机,用于精确映射掩模和/或晶片的表面。该工具采用专门的光纤光束分离器,将激光束分成多个离散光束,用于晶圆或掩模表面的重新成像。这些光束聚焦在曲面上并由CCD阵列收集,然后重新组合以创建曲面图像。该图像由专门的计算机软件进行分析,以进行表面粗糙度、线宽等特征的测量。该资产还为质量管理、缺陷映射和晶圆跟踪提供了强大的软件套件。AUGUST NSX-95 Mask&Wafer Inspection Model旨在满足半导体行业的严格要求,提供卓越的性能和可靠性,同时减少工艺周期时间和成本。其精确测量表面纹理等特性的能力,使其成为半导体和光电元件制造商的宝贵工具。
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