二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9395555 待售
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ID: 9395555
晶圆大小: 6"-8"
Defect inspection system, 6"-8"
XANDEX 350-0002 Pneumatic die marker controller
Objectives: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x
PC.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95掩模及晶片检测设备是一种用途广泛、性能高的系统,设计用于半导体、平板显示器和微电子制造中的掩模和晶片的可靠检测。AUGUST NSX-95能够检测拓扑和覆盖缺陷,并具有全层检查的能力。该装置采用了亮场/双色亮场/DUV透射检测技术,使用户能够检查单个晶片和多个晶片上的拓扑和迭加缺陷。RUDOLPH NSX 95的高动态范围检测加上其高精度定位允许使用TFT和LCD基板的任何组合,包括LCD平板显示器、蒙版和晶片。NSX 95配备了常规的自动聚焦和自动松弛对准(ASA)技术,使其能够在检查过程中准确扫描基板。它还具有自动分页计数器(ABC)功能,可根据复杂的缺陷特征阵列进行统计检查,并允许自动识别对象。机器的高灵敏度光集成时序能够检查0.1 um线路结构,并支持多个区域/基板/像素字段设置。它还配备了PowerPC 417和通用输入/输出工具,能够快速准确地进行设置和检查。提供的高级工具包括模式匹配库、用于多站点检查的多缺陷监控(MDM)、用于缺陷识别的True Eye技术、用于识别冗余缺陷的True Cog、用于故障记录的高灵敏度打印机以及用于远程访问和控制的PC网络接口。此外,AUGUST NSX 95掩码和晶圆检查资产还配备了灵活的模块化软件体系结构,可提供用户友好的分步操作。其中包括自动化功能,可加快设置时间并提供可靠的数据准确性。该型号的综合服务和本地支持为需要日常设备维护或维修的客户提供全面支持。总体而言,NSX 95掩模和晶圆检测系统是故障分析、质量控制和过程控制方面的一个特殊工具。它具有准确检测各种基板上的掩模和晶片的拓扑和覆盖缺陷的能力,并配备了强大的数据分析和自动化工具。凭借其可靠的性能、服务和支撑,该机组是半导体、平板显示器、微电子制造运营的理想选择。
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