二手 RUDOLPH / AUGUST WV320 #293587810 待售
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RUDOLPH/AUGUST WV320是一种革命性的集成式掩模和晶圆检测设备。该系统由一个独特的基于光学干涉仪的检测头组成，安装在高精度数控扫描级上。扫描阶段由计算机控制，最多可移动三个独立轴。每个轴都能够在x、y和z方向上平移最多5毫米的头部。该单元使用由光源、透镜、目镜和偏振立方体组成的固态干涉仪。偏振立方体用于将光引导到要检查的掩模或晶片表面或从其表面发出。从表面反射出来的光被透镜收集，允许图像采集。AUGUST WV320机器可以高精度地检查扁平和弯曲晶片和掩模。该工具设计用于亚微米检查，可测量分辨率为0.25微米。检查速度可在0.5至3.5 Hz之间进行调节,具体取决于所检查晶片或掩模的大小。该资产可以检测到从四舍五入、开裂、碎裂和侧壁故障到玻璃盖板过度磨损等缺陷。该模型还可以测量诸如侧壁几何形状、孔的大小和螺距、微vias、轨道、网格等特征。除了缺陷和特征测量外，该设备还具有提供定量和统计二进制数据的独特能力。这在评估分散特征模式时特别有益。该系统还配备了专门的软件，使其能够在检查样品时检测缺陷分布和其他特征。该软件还具有自动校准例程,可更快地检测缺陷。RUDOLPH WV 320单元是晶圆和掩模应用的可靠且用户友好的检测机。它提供快速、准确和可重复的缺陷检测和特征测量,其分辨率适用于所有半导体应用。检查工具中的软件增加了识别缺陷分布和复杂模式的能力,使WV 320成为当今要求苛刻的半导体行业的理想选择。
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