二手 RUDOLPH / AUGUST WV320 #9350873 待售
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RUDOLPH/AUGUST WV320是一种用于检查半导体晶片和掩模缺陷的掩模和晶片检测设备。它使用光学显微镜和高分辨率成像检查晶片或掩模的正面和背面。该系统可以精确识别颗粒、线条缺陷、凹坑、斑点和其他不规则性。光学图像以高达2000万像素的分辨率捕获,以获得详细的高清图像,并且可以检测到小至0.01 µm （10 nm）的特征。它还配备了背面孔径成像，允许对具有高对比度反射测量成像等先进特性的晶片进行自动背面检查。AUGUST WV320还具有一个大的、可调的建筑区域，可以容纳直径达200毫米的晶片。它带有用户友好的GUI,并由触摸屏控制器控制。此外，还有一个自动晶片进纸器，可以快速、高效地检查大批量晶片。该单元还包括一个自动缺陷检测机，自动检测和分类缺陷，以便快速、高效的处理。该工具可以识别各种缺陷，如颗粒、线条缺陷、凹坑、斑点和其他特征。它配备了先进的算法，使资产能够准确分类缺陷的类型和大小。最后,RUDOLPH WV 320具有快速响应自动对焦和自动变焦功能。这使得模型能够快速响应样品的变化，比如那些由温度或电压波动引起的变化。这提高了检查的准确性和可靠性，提高了设备的整体效率。综上所述，WV320是一个前沿的掩模和晶片检测系统，可以检测具有高分辨率成像和自动缺陷检测的半导体晶片和掩模。其先进的功能，如用户友好的GUI、自动晶圆进纸器以及快速自动对焦和自动变焦，使其成为高效而强大的掩码和晶圆检测单元。
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