二手 RUDOLPH / ONTO INNOVATION WHS220 #293585586 待售
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RUDOLPH/ONTO INNOVATION WHS220是一种高性能的面膜和晶片检查设备,设计用于检查晶片和面膜。它由标准的Intel Core i5处理器提供动力,并且可以方便的升级加上额外的专用硬体如影像处理器、更大的RAM,以及更多的硬碟空间来提升其效能。RUDOLPH WHS220基于Windows 10 Pro操作系统和强大的硬件平台,可确保可靠且可重复的检查结果。该装置具有振动级,放置要检查的石英晶片。舞台由先进的煎饼步进电机驱动,使舞台同时沿着X、Y和Z轴移动,使机器能够横穿整个晶圆表面并捕获与其特征相关的数据。在检查周期中,该级还可确保晶片的特性在摄像机上精确且可重复对齐。ONTO INNOVATION WHS220结合了光学检查技术和高精度商用相机来获取晶圆特性的图像。为确保最佳成像条件,采用了明亮的远程中心照明工具,在整个舞台和视场上提供均匀照明。然后,图像处理算法分析特征的大小和形状,以确定每个元素的正确性。WHS220还有一个集成的口罩检查模块,旨在检查模具和口罩。5轴机械臂用于精确地将模具放置在舞台上进行面罩检查。该资产还包括一个明亮的冷发光二极管(LED)照明器和一个6兆像素商用相机,该照相机捕获图像,这些图像与预先定义的一组通过/失败标准进行比较,以评估掩模各个元素的准确性。RUDOLPH/ONTO INNOVATION WHS220是检测石英晶片和掩模缺陷的理想工具,因为它提供了快速、准确和可重复的结果。该模型易于操作,为技术人员、研究人员和其他用户设计了用户友好的图形用户界面。此外,它运行在一个基于窗口的平台上,可以方便地与其他进程集成。为了提高准确性和性能,设备可根据要求大量定制,并提供其他硬件和软件选项。
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