二手 RUDOLPH / ONTO INNOVATION WV 320 #9379823 待售

RUDOLPH / ONTO INNOVATION WV 320
ID: 9379823
晶圆大小: 12"
Macro defect inspection system, 12".
RUDOLPH/ONTO INNOVATION WV 320是一种专业的Mask&Wafer Inspection设备,旨在为晶圆、Mask和标线测量和鉴定提供高度精确的光学检查。该系统在生产超精密光学、半导体和其他工业和医疗用途的光学敏感基板方面非常有用。这个高端检测单元包括一个10英寸的屏幕和激光扫描显微镜。内部多轴运动机器允许对样品进行自动成像和精确对准。先进的运动工具还确保样品与成像资产的连续对准和定位,从而实现更高的产量测量和改进的质量结果。RUDOLPH WV 320在从可见到紫外线的广泛波长范围内工作,用于晶圆正面、背面、侧壁和测试图样的精确成像和测量。该模型对图桉化批次的缺陷检测和非标准结构和形状,如介电层、针孔和微观结构,尤其有效。此外,设备还包括一组高级测量工具,用于精确测量线宽、间距、迭加和可打印性等特征。与ONTO INNOVATION WV 320集成的软件极其用户友好,包括一个检查登记方法的大型数据库。这样就可以快速分析示例图像以及一套更一致的监督标准。软件还支持自动缺陷审核,消除了手动检测步骤的需要,进一步提高了生产线性能。此外,系统还包括一个高级数据处理应用程序,允许用户快速调整、调整大小和编辑从WV 320获得的图像。此用户友好的应用程序可以自动保存和导出图像以进行进一步分析或打印。RUDOLPH/ONTO INNOVATION WV 320是一个先进的Mask&Wafer Inspection Unit,它可以通过快速提供准确和自动化的分析帮助生产线达到更高的性能水平。凭借其先进的运动机器、高分辨率、用户友好的软件,这款工具是工业和医疗应用中要求高精度光学检查的行业的绝佳选择。
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