二手 SDI SPV / PDM 3020-P #138848 待售

SDI SPV/PDM 3020-P Mask&Wafer Inspection Equipment （SDI SPV/PDM）是一种综合自动化工具,用于在光掩模级别检查硅片。该系统旨在提供无与伦比的精度和准确性，用于检测硅晶片上的线缘粗糙度和微短度等缺陷。SPV/PDM 3020-P可以精确测量晶圆地形、覆盖目标和监控光刻工艺变化。该设备具有先进的功能,包括自动临界尺寸（CD）测量、自动缺陷识别和激光干涉测量自动缺陷隔离。这些特性提供了更好的工艺控制和提高产量。SDI SPV/PDM 3020-P可以检测到广泛的缺陷，如线缘粗糙度、边缘拉槽、掩模场变化、模式偏移、错位、其他形状畸形、微短裤等。该机器的制造具有许多优点，以支持与面具相关的过程监测。例如,3020-P支持使用各种软件包进行内联和后晶圆处理。这样可以快速评估光刻工艺的偏差、精确的迭加和临界尺寸测量。它还包括针对不同类型掩码的独特控制算法，包括临界维度层、局部CD层、精确特征匹配和迭加、高能临界维度SAR（信噪比）和高精度光学CD。SPV/PDM 3020-P的设计可提供高达90nm的极高分辨率计量。它具有很高的吞吐量速率，允许它每小时最多检查两个晶圆，并支持300 mm的最大晶圆尺寸。该工具也是高效的，需要最少的操作员干预，并具有一个直观的界面，以便于操作。该3020-P非常适合生产环境、口罩店和研发应用。该资产的规模也很小，重量仅为250公斤，使用5,000小时的MTBF非常可靠。它的工作温度范围可以从18到28°C调整，湿度范围从10到90%。归根结底,SDI SPV/PDM 3020-P提供了卓越的性能、简单的操作和高效率,使其成为以最高精度自动化生产精细线型光掩码的绝佳选择。