二手 SEMILAB / SDI FAaSt 210E-SPV #9203133 待售
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ID: 9203133
晶圆大小: 6"-8"
Contamination measurement system, 6"-8"
Unislide rotary table B4818TS
NEWPORT MM3000 + 23556
AD TECHNOLOGY 3800-1745
PHOTON Wheel BO76
SPV Lightsource
SIGNAL RECOVERY 197 Light chopper
PLANAR PL100M
ADEK R7IFI48AB
PC700 Monster power center
Trip lite power production
Astrodyne MSCA-5005
API Getty 230-6102FH
EG&G INSTRUMENTS 7265
TEXAS INSTRUMENTS Peripherals DT-5K-PS/2
Logic supply power LPS-12
WATLOW 96
DANAHER 1122317
MG Chemicals 846-80G
Manuals not included
Power supply: 110 AC, 50/60 Hz, 3000 W.
SEMILAB/SDI FAaSt 210E-SPV是一种中等水平的掩模和晶圆对准显微镜设备,设计用于检查半导体晶圆和掩模中的缺陷、侵蚀和表面完整性。该系统具有内置的自动化单元控制(SC)和用户友好的直观图形用户界面(GUI)。这款检测机的整体尺寸只有800毫米x 680毫米x 640毫米,体积小巧,但用途广泛。SDI FaaSt 210E-SPV提供了多种功能来增强半导体行业的运营商的能力。该工具采用10位XYZ级,能够进行多层检查、自动和手动对齐、倾斜和摆动调整以及高级自动对焦功能。它还提供了具有直接晶圆操作的亮场/暗场图像显示、具有0.3-2.5X放大范围的6位电容器以及高达25X的工作距离。SEMILAB FaaSt 210E-SPV还提供各级图像采集和分析功能。通过内置的图像移位校正,可以检测到并准确识别未对准。它还包括一种先进的基于算法的特征识别和掩蔽,用于无缺陷检测、边缘检测以及粒子计数和尺寸分析。此外,还可以进行多种测量,包括线宽、边缘轮廓和迭加精度。展望未来,FaaSt 210E-SPV配备了高分辨率CCD摄像头资产、可调曝光时间以及功能强大的基于PC的图像分析模型,从而产生更大范围的缺陷/特征识别和分析。此设备还包括一系列图像报告功能,可立即评估结果和查看通过/失败状态。总体而言,SEMILAB/SDI FAaSt 210E-SPV是一种可靠的中型掩模和晶片检测系统,旨在可靠地检测和测量最小的缺陷。它提供了一整套高级功能,以确保用户能够从检查过程中获得最佳结果。
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