二手 SEMILAB / SDI FAaSt 230 DP+SPV #293811109 待售

SDI FAaSt 230 DP+SPV是一种掩模和晶片检测设备，用于在制造过程中检查掩模、晶片和其他光学器件组件。该系统设有自动化检查阶段和自动化单元，能够处理各种各样的工件和不同的检查。该机器采用23英寸TFT-LCD双视图显示器和标准可编程逻辑控制器（PLC）,可帮助优化刀具的工作流程。检测阶段由SEMILAB专属动态晶圆中心驱动，允许精确定位和舞台运动。资产还使用集成的视频传感器，可以进行精确的图像分析以及晶圆和掩码识别。该型号拥有一个用于精确面罩对准的自动蔡司适配器，一个NA为0.19的检查物镜和滤镜，以及一个高速扫描数字电子设备，用于速度和精度。该设备配备了一个强大的光源，能够输出高达20W的光，以便对20 nm以下的特征进行有效检查。它还具有允许视觉缺陷查看、图像分割和图像处理的软件。它还支持众多的图像分析算法，如图像过滤、图像减法和图像配准，以及一些统计和形态参数，如对比度、清晰度和缺陷面积大小。该系统能够执行各种掩码和晶片检查任务,如掩码边缘检查。这些检查包括使用高功率显微镜检测口罩边缘的异常，包括缺陷和图桉错误。该单元还能够提供准确、可重复、可靠的缺陷分类和3D缺陷体积测量。该机还包括用于SPV（扫描探针显微镜）检查的特定工具。软件支持高级数据分析,并能够测量掩模或晶片表面上的小结构。该工具具有多种用于数据收集、事件控制、分析和可视化的功能。最后,SEMILAB/SDI FAaSt 230 DP+SPV是一种通用的掩模和晶圆检测设备,旨在以更高的运行速度提供准确、可重复和可靠的结果。该型号融合了23英寸TFT-LCD双视图显示屏、标准可编程逻辑控制器（PLC）、集成视频传感器、用于精确掩模对准的自动蔡司适配器、大功率光源、检测物镜、滤镜、高速扫描数字电子。它还拥有一套功能强大的软件工具，能够实现有效的图像分割和图像处理，以及各种图像分析算法。该设备能够执行大量的掩模和晶片检查任务，包括掩模边缘检查和SPV（扫描探针显微镜）检查。