二手 SEMILAB / SDI FAaSt 300 #9358711 待售
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SEMILAB/SDI FAaSt 300是一种掩模和晶圆检测设备,旨在为半导体器件提供精确的成像、检测和计量。该系统设计用于以高达3.6um的分辨率处理多达300 mm的晶圆。该设备能够检测到常规检查方法无法检测到的缺陷。SDI FAaSt 300利用双照相机,使其能够大量成像各种样本量。这样可以提高吞吐量,同时确保准确性和精确度。该工具可以分析小至3.6um的特征,并能够检测各种类型的晶片缺陷,包括:污染物、位错、颗粒、划痕、针孔和其他微缺陷。SEMILAB FAaSt 300使用专门的光学和成像软件,以确保在苛刻的生产线中获得最佳的图像质量。它包括用于低kV和高kV曝光的光学资产,以及一个专门用于特定应用的成像软件,以确保检查区域的精确对准。FaaSt 300集成了几种计量功能,包括扫描和形状识别、模式检测和缺陷分析。它还提供了若干自动化分析和报告工具,以便能够对保存的检查数据进行快速和彻底的分析,供今后参考。该模型还提供用于测量二维和三维成像的测量设备和运动控制,以及样品操作。其用户友好的软件界面简化了操作,便于精确测量和检查大型模具和晶片。为了跟上大批量需求,SEMILAB/SDI FAaSt 300包括高速晶片传输设备以及允许在一个单元内同时检查和测量多个晶片的自动化装载系统。此外,该计算机还包含一个软件,该软件可连续更新晶圆缺陷信息并在其报告中进行显示。SDI FAaSt 300设计用于高需求量的生产设置,为精度、可靠性和速度而打造,使其成为检查非常大和复杂的半导体器件的完美检测工具。
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