二手 SEMILAB / SDI FAAST 330A #9382822 待售
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ID: 9382822
优质的: 2004
Measuring system
Surface Photo Voltage (SPV)
Does not include robot
Optic signal device non functional
2004 vintage.
SEMILAB/SDI FAAST 330A是一种最先进的掩模和晶片检查设备,设计用于自动晶片检查和后续测量。先进的自动化软件有助于识别晶圆和掩模上的问题区域,并将其定位到各种几何形状,达到纳米分辨率。系统配备两台垂直CCD摄像头，提供无与伦比的图像对比度和图像捕捉分辨率。这些照相机也被设置为捕捉具有各种比例（3-5µm/pixel）的图像，用于检查各种类型的结构。这使操作员可以轻松地从检查小型结构切换到大型结构。该单元还包括两个垂直测量传感器。传感器有两种分辨率级别（分别为0.4 µm和1.2 µm）。它们用于精确测量所检查结构的垂直几何形状。此外,还提供结构的倾斜测量,分辨率为0.1°。SDI FAAST 330A的精确光学对准可实现简单快速的晶圆迭加对准以及同时捕获和测量。自动晶圆对齐工具确保捕获的所有图像都与晶圆精确对齐。此外，机器还包括数据管理和过程控制（DMPC）软件。此尖端软件允许操作员从单个控制点控制整个刀具过程,从而简化了检查和编辑过程。最后,SEMILAB FAAST 330A具有内置的自动校准资产,可验证模型的准确性并提供任何潜在问题的反馈。然后使用反馈创建一个全面的报告,其中包含所有需要调整的参数,以保持最佳准确性。FAAST 330A是一个可靠和全面的面膜和晶圆检验设备.它的自动化和精确的功能使得它成为专业的面膜和晶圆检查的理想选择在多个几何形状和材料。
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