二手 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9236853 待售

SEMILAB/SDI FAaSt 350是一种自动化的掩模和晶圆检查设备，使用先进的显微镜和光学成像技术来检测IC制造的缺陷和变化。该系统能够检查光刻口罩、晶片和标线，分辨率可达亚微米。适用于广泛的应用，包括抛光面膜和晶片，以及高精度的测量和对图桉匹配和尺寸特性的分析。该单元由计算机控制单元和数字成像机组成，具有可移动的舞台，可容纳直径可达350毫米的样品。成像工具包括绿色激光干涉测量和红绿蓝激光成像等先进光学技术。这允许对掩模和晶片材料进行非侵入式检查，以及精确的3D表面分析。该资产还配备了共聚焦显微镜，能够自动检测和测量微观和纳米级特征。对于测量图样,SDI FAaSt 350还包括一个用于高精度图样测量的光学干涉仪,能够检测大约40 nm的宽度或高度变化,分辨率低至10 nm。此外，该模型能够测量具有高度精度和速度的其他尺寸特性。SEMILAB FAaSt 350与SDI SP3D检查软件集成在一起,实现了快速高效的缺陷表征。该设备还兼容了几种模式匹配算法和一系列光学显微镜分析协议，从而实现了流程的高效自动化。此外,该系统可用于缺陷修复和掩码制作过程,并包括一个安全、高效和用户友好的界面,可与CAD、SEM和PLM工具合并。总之，FaaSt 350是一种先进、可靠的掩模和晶片检测装置，能够利用先进的光学成像技术检测细小缺陷和变化。该机既适用于面膜也适用于晶圆检验，可广泛用于一系列计量和检验过程。SP3D的检测软件和高精度的模式测量功能使该工具成为扫描、检查和分析掩模和晶片的理想解决方桉。