二手 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9245382 待售

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ID: 9245382
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Wafer characterization system, 12" Process: Contamination measurement With power transformer / line conditioner Stand alone Dual FOUP robotic wafer load system platform, 12" Platform: Robot / Pre-aligner (2) BROOKS Vision loadports Mini-environment SEMI E87 Communication capability 2013 vintage.
SEMILAB/SDI FAaSt 350是一种可靠且经济实惠的掩模和晶圆检测设备,可用于多种应用。该系统配备了用于晶片处理的动态卡盘,具有六个自由度的高级光学设计以补偿错位误差,以及一个用于捕捉样品图像的高分辨率相机。该单元可精确测量关键尺寸、边缘、配准标记、CD、占空比和详细特征检查。它还提供了精确的晶圆对准和广阔的视野,用于精确的区域测量,从而能够对关键的模式缺陷进行高精度的分析。该单元创新的光学设计由一台具有衍射受限视场的非球面透镜机组成,提供最佳性能。此外,独特的设计允许在样品宽度上进行更快速的映射,从而提高吞吐量和准确性。集成式飞利浦光源照明确保了整个视野的均匀照明。此外,该单元还具有独立的扫描和曝光速度调节机制,提供了更大的灵活性。此外,SDI FAaSt 350配备了精密的图像处理软件,以确保高精度和可重复性。软件的精确算法支持全面的测量,包括跨CD、间距、占空比、节点长度、线宽和定位标记对齐方式的测量。而且,内置的、用户友好的界面使得操作机器变得简单直观。该工具具有几个突出的功能,包括获得专利的无掩模剥膜资产、获得专利的带有传感器的捕获技术,以及获得专利的光学重建算法,允许在整个视野中进行详细和结构化的分析。此外,该单元的模块化设计使用户能够交换或升级组件,从而允许用户自定义模型以满足其个人需求。SEMILAB FAaSt 350是一款惊人的掩模和晶圆检测设备,结合了强大的光学和精密的图像处理算法,提供精确的测量。它提供了最佳性能和快速吞吐量,使其成为任何应用程序的绝佳选择。
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