二手 SEMILAB / SDI PV-2000A #9389454 待售

SEMILAB/SDI PV-2000A是一种计算机控制的自动掩模和晶片检查设备，旨在满足临界光刻检查的先进要求。SDI PV-2000A平台执行光学检查和电气测试。它是一个高通量系统，每小时最多可以同时检查和测试2000个晶圆或掩码。该机提供对光掩模和晶片特征的深入检查，如接触孔、线宽、迭加精度、蚀刻轮廓缺陷等。SEMILAB PV-2000A配备了6 "x6"高分辨率激光投影单元、高精度视觉机以及先进的图像处理算法。该工具根据干涉条纹的光场强度剖面,对激光干涉晶片进行CEMI（对比度估计模式干涉）检查。该资产通过将来自反相干光源（来自两束激光束的散射光）的光波和辐射波相结合，制作出干涉图样，并将图样与预设参数进行比较。当发现缺陷时，使用集成像素传感器进行测量的准确性允许进行亚微米评估。PV-2000A先进的光斑检测程序能够检测到最小的表面缺陷。该机还配备了自动模式识别和智能搜索算法，能够对缺陷进行快速搜索、检测和表征。此外，该模型还装有一个自动聚焦模块，确保了接触孔的可靠检测，甚至高达1微米的精度。该设备还具有集成的自动化电气测试系统，执行各种测试，如电阻、电容和击穿电压。自动化电气测试单元使用按下接触探针和专用测试线束来执行异常快速、高精度的测试。SEMILAB/SDI PV-2000A是一种全自动机器,它简化了检查过程,并以最小的人工干预显着提高了吞吐量。独立的工具与许多类型的晶圆制造设备完全兼容，如抗蚀剂微调、等离子体蚀刻器、注塑等。