二手 SEMILAB / SDI RT-100 #9202582 待售

SEMILAB/SDI RT 100是一种强大的掩模和晶圆检测设备,专为高吞吐量、自动化生产线应用而设计。它为客户提供精确、高分辨率的掩模和晶圆缺陷成像以及形状信息。SDI RT 100利用SDI专有的扫描电子束检测（SEBD）技术检测缺陷和粒子。它使用户能够检查各种半导体器件,包括但不限于DRAM、SRAM、CMOS、Bi-CMOS、SOI和砷化铵（GaAS）技术。该系统利用双轴x-y级检测和分析掩模和晶片缺陷，利用分段晶片级对形状和特征进行深入分析。它具有很高的可重复性,可确保在获取数据时获得可重复的结果,从而使用户能够可靠地检测到小缺陷。SEMILAB RT 100具有高速X射线源，用于精确测量器件内部结构，允许检测缺陷，测量电路的完整性，为制造过程提供质量保证。该单元还具有SEMILAB专有的多缝算法,用于自动缝合多个图像,以实现最大分辨率和准确性。其Tracking and Correlation算法检测和跟踪从一个图像到另一个图像的特征，允许用户更详细地查看缺陷。此外,RT 100的高级数据采集技术允许快速查明和提取缺陷、形状轮廓和其他特征。其自动缺陷分类算法提供了缺陷的快速评估，包括根据其类型自动分类晶圆缺陷。综上所述，SEMILAB/SDI RT 100是一款用途广泛、可靠的成像机器，旨在为客户提供高分辨率的蒙版和晶片图像。它配备了强大的高吞吐量检测和自动化数据分析技术。凭借其先进的检测能力，用户可以在生产过程中确保质量最高的产品。