二手 SEMILAB / SDI RT-110 #9277269 待售
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SEMILAB/SDI RT 110是一种用于调查半导体器件和材料的物理、电气和光学特性的掩模和晶圆检测设备。它为监测和测量集成电路组件和基板的质量提供了一个全面的解决方桉。该系统提供多种功能,如高清成像显微镜、接触和非接触轮廓测量、白光干涉测量、白光激光干涉测量和相位成像。它还具有一整套软件功能,使用户能够高速、精确地分析和检查图像。显微镜配备了多种透镜,能够对掩模、晶圆和离散设备进行精确的故障检测和分析。它的集成分辨率为0.5纳米,使其能够有效地精确测量半导体器件、材料和其他物体的特征和参数。此外,该单元还包括一台质量控制机器,用于检查晶圆的特征和缺陷,以识别故障和异常。它还支持透射电子显微镜(TEM)来观察样品的微观结构。此外,其照明工具旨在确保高对比度图像的可靠和精确的分析。它还具有宽频率范围,波长范围为400-700nm,最大信号频率为12MHz,适合在晶圆表面上成像很小的特征。该资产能够通过二维扫描生成3D图像,从而为晶圆和掩码提供快速高效的故障定位。它可以根据用户的要求进一步定制。总之,SDI RT 110是一种功能强大、效率高的掩模和晶圆检测模型,在测量半导体器件和材料的特性和参数方面具有很高的准确性。它包括一套全面的软件和完整的照明设备,为各种应用程序定制它提供了灵活性。
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