二手 SEMILAB / SDI WT-2000 #9259516 待售
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SEMILAB/SDI WT-2000是一种掩模和晶片检查设备,其目的是为光刻和计量应用提供检查能力。它设计用于检测、采样和测量晶片和掩模,具有高精度和重复性。该系统具有双头光学单元、专有控制机器和高级专有图像分析软件。面罩和晶片检测工具配备1kx1k CCD摄像头和双头照明控制,确保晶片和面罩表面的均匀照明。该资产能够以高精度一次通过检查整个晶片。此外,该模型在脉冲照明状态下工作,以补偿表面地形的微小差异,从而产生一致的结果,整个晶片。高级图像分析软件允许检测缺陷,例如临界尺寸和曝光错误,同时检测晶圆结构的变化。它结合了全晶片分析和隔离临界区域分析,从而确保了缺陷的详尽检查。此外,高端自动缺陷检测设备使系统能够检测到微妙和孤立的晶圆缺陷,否则这些缺陷很难识别。专有的控制单元使操作员能够在单一、统一的硬件中控制摄像机、照明、舞台位置和光学机器。它还允许与外部统计过程控制和数据采集系统相结合,从而能够快速分析晶圆和掩码数据。此外,该工具可以与晶片跟踪器集成,确保晶片在机器中移动时的精确跟踪。综上所述,SDI WT-2000是一种完整、高精度的掩模和晶圆检测资产。它设计用于精确和可重复性的检查、采样和测量晶片和掩模,而其先进的图像分析软件和专有控制模型则提供了与外部统计过程控制和数据采集系统的无缝集成。此外,设备在脉冲照明状态下工作,以补偿表面地形的微小差异,确保整个晶片的结果一致且可重复。
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