二手 SEMILAB / SDI WT-2000D #9250076 待售
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SEMILAB/SDI WT-2000D是一种用于半导体生产工业用途的掩模和晶圆检测设备。利用高分辨率远心光学系统,能够检测直径达300 mm的晶片上的缺陷。此单元包括对齐器、图像捕获设备和机器人处理模块。机器确保精确晶圆对准使用空气对准成像工具。为了确保快速、准确的图像捕获,此资产使用冷却CCD摄像头,该摄像头具有低噪声读数和1GB/s的数据速率。该相机能够以2048 x 2048的分辨率捕获静止帧和视频流。机器人处理模块能够处理所有晶圆和掩模尺寸,同时提供精确和可重复的运动。它还提供精确的晶圆平移和序列操作。此外,控制模型与视觉设备集成,使机械臂能够根据检测信息直接操纵晶片。该系统还能够使用高速缝合算法检测晶片上的图样(如IC设计中使用的图样或掩模上的斑点)或光刻误差,检查晶片和掩模。它也使用减少斑点的技术来改善对比度和减少噪音。该装置还利用SDI专利模具:探针工具准确识别和记录晶圆上每个模具的X、Y和Rotation角。SDI WT-2000D提供全面的计量和分析工具,以提高准确性和生产率。它还提供各种缺陷显示,如假颜色、颜色编码热点和灰度显示。这些显示突出显示有错误或缺陷的区域,以便于识别和修复。该机器采用最先进的算法和软件,能够快速发现问题并缩短检查时间。它还配备了提供准确可重复性分析的高级审查功能和统计审查。此外,用SEMILAB对机器进行校准,以确保准确的结果。总体而言,SEMILAB WT-2000D是为满足半导体行业的具体需求而设计的强大而可靠的工具。它能够可靠地检查晶片和口罩,并快速查明缺陷,使其成为生产的理想选择。
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