二手 SEMILAB WT-2000 #9299523 待售

SEMILAB WT-2000是一种高精度的掩模和晶片检查设备，设计用于对平面地形进行自动化、非接触式、高分辨率的测量。它基于声学成像振动测量技术（AIV），测量物体对声音脉冲的振动和响应。该系统能够测量分辨率低于0.5nm的尺寸,并能够高速实现全面积非接触式测量。SEMILAB WT2000单元包括两个主要组成部分：声学成像振动测量头和高分辨率成像机。AIV测量头负责产生声波脉冲，接收反射信号，并将其处理成数字信号。该工具能够在高达2 µm的测量范围内获取轴向分辨率优于0.5nm的高分辨率地形数据。AIV测量头的时间分辨率设置在125到500 ns的范围内。该成像资产由522 nm可见激光组成,由AIV测量头发出的光纤耦合提供动力。这种激光照明的图像被高分辨率的数字成像模型放大，并被数码相机收集。高分辨率成像设备基于像素大小为3.45 μ m的CCD相机,可提供高达250倍的放大图像。WT 2000控制系统负责控制AIV测量头的孔径，以优化测量面积，同步成像单元的激光束触发器，等等。用户友好界面为高效可靠的操作提供了对机器功能的轻松访问，包括自动掩码对齐过程、用户友好导航菜单，甚至存储测量参数的软件功能等几个标准功能。除基本工具外,SEMILAB WT 2000还提供了一系列用于晶圆和掩模检查的附件。这些附件包括用于表面粗糙度和地形剖面的特殊扫描石英探针、用于向样品充电的用于湿张力分析的充电器模块、用于小物体可视化的显微镜相机、用于观察小结构的光学显微镜以及用于测量电导率的涡流传感器。总之，WT2000是一个强大的、高精度的掩模和晶圆检测资产，具有极好的可重复性和准确性。它的溷合方法结合了声学成像振动测定法和高分辨率成像模型,能够快速简便地测量高分辨率和高速度平面的地形、尺寸、粗糙度和电性能。